探針臺應用技術(shù)

三維磁場探針臺選型注意事項：

※大需要測幾inch的晶圓或者器件！是否需要測試破片或者單顆芯片！小的單顆芯片尺寸！

※探針臺機械精度要求多高！

※點測樣品的電極尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路！

※多需要幾個探針同時去點測！

※是否會用到探針卡測試！

※光學顯微鏡的小分辨率需要用到多少！

※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測！

※探針點測時，對電流的要求是否達到100fa或者以下！低

電容要求是否要做到0.1pf！是否有射頻需求！

※接駁的測試儀器接口有哪些！

※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫！ 是否需要密閉腔體！

※對chuck的漏電要求怎樣！是否需要添加低阻抗chuck！

※是否需要防震桌！

※若添置防震桌，是否有壓縮空氣！

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